高压真空开关是一种检测真空度范围的开关，又称真空继电器。其作用是：当实际工作中所产生的真空度达到规定要求时，自动开闭控制电路，发出电信号，指令真空吸附机构正常动作。它属于可靠性、安全性元件。真空开关是集负压测量、显示、控制于一体的智能化仪表，具有操作简单、安装方便、精度高、功能强等特点。该压力开关具有反向控制、延时控制、漏压保护、密码保护、一键误差清零、多种压力切换等功能，可用于各类真空度的测量，可与各类真空泵配套使用。
影响高压真空开关真空绝缘水平的主要因素：
1、电极的几何形状
电极的几何形状对电场的分布有很大的影响，往往由于几何形状不够恰当，引起电场在局部过于集中而导致击穿，这一点在高电压的真空产品中尤其突出。电极边缘的曲率半径大小是重要因素。一般来说，曲率半径大的电极承受击穿电压的能力比曲率半径小的大。击穿电压还和电极面积的大小成反比，即随着电极面积的增大而有所降低。面积增大导致耐压降低的原因主要是放电概率增加。
2、间隙距离
真空的击穿电压与间隙距离有着比较明确的关系。试验表明，当间隙距离较小时（≤5mm），击穿电压随着间隙距离的增加而线性增长，但随着间隙距离的进一步增加，击穿电压的增长减缓，即真空间隙发生击穿的电场强度随着间隙距离的增加而减小。当间隙达到一定的长度后（≥20mm），单靠增加间隙距离提高耐压水平已经十分困难，这时采用多断口反而比单断口有利。一般认为短间隙下的电击穿主要是场致发射引起的，而长间隙下的的电击穿则主要是微粒效应所致。
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